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장비 보유현황

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  • 3차원 레이저현미경 기존

    3차원 레이저현미경

    • 기자재관리번호
    • 설치장소/호실공학4호관 311호
    • 담당학과기계공학부
    • 연계교과목반도체 공정교육
  • 시뮬레이션PC 신규

    시뮬레이션PC

    • 기자재관리번호20231222-20231437-34~75
    • 설치장소/호실공학4호관 318호
    • 담당학과기계공학부
    • 연계교과목유한요소법 개론
  • 인터랙티브화이트보드 신규

    인터랙티브화이트보드

    • 기자재관리번호20240814-20231437-03
    • 설치장소/호실공학4호관 316호
    • 담당학과기계공학부
    • 연계교과목
  • 원자힘현미경 신규

    원자힘현미경

    • 기자재관리번호20241119-20231437-14
    • 설치장소/호실공학4호관 220호
    • 담당학과기계공학부
    • 연계교과목반도체 개론, 계측공학, 초소형기전공학설계
  • 고온 어닐러 기존

    고온 어닐러 (RTA)

    • 기자재관리번호
    • 설치장소/호실자연4호관 120호
    • 담당학과물리학과
    • 연계교과목나노반도체 제조공정
  • 이빔증착기 기존

    이빔증착기 (ebeam evaporator)

    • 기자재관리번호
    • 설치장소/호실자연4호관 120호
    • 담당학과물리학과
    • 연계교과목나노반도체 제조공정
  • ICP-RIE 기존

    ICP-RIE

    • 기자재관리번호
    • 설치장소/호실자연4호관 120호
    • 담당학과물리학과
    • 연계교과목저온 플라즈마 물리, 나노반도체 제조공정
  • 마스크포토얼라이너 신규

    마스크포토얼라이너

    • 기자재관리번호20240131-20231437-76
    • 설치장소/호실자연4호관 115-1호
    • 담당학과물리학과
    • 연계교과목저온 플라즈마 물리
  • pressure regulator 신규

    Pressure Regulator set

    • 기자재관리번호20240822-20231437-05
    • 설치장소/호실자연4호관 115-1호
    • 담당학과물리학과
    • 연계교과목나노반도체 제조공정
  • 반도체디바이스시스템 기존

    반도체디바이스시스템

    • 기자재관리번호20241112-20231437-11
    • 설치장소/호실자연4호관 419-1호
    • 담당학과물리학과
    • 연계교과목나노반도체 제조공정
  • X-선 회절 분석기 기존

    X-선 회절 분석기

    • 기자재관리번호
    • 설치장소/호실자연4호관 236호
    • 담당학과화학과
    • 연계교과목반도체 및 에너지 무기재료 화학
  • 광발장 분광 분석기 기존

    광발장 분광 분석기

    • 기자재관리번호
    • 설치장소/호실자연4호관 205호
    • 담당학과화학과
    • 연계교과목반도체 및 에너지 무기재료 화학
  • 자외선 분광 분석기 기존

    자외선 분광 분석기

    • 기자재관리번호
    • 설치장소/호실자연4호관 205호
    • 담당학과화학과
    • 연계교과목반도체 및 에너지 무기재료 화학
  • 형광분석기 신규

    파장분산형 엑스선 형광분석기

    • 기자재관리번호20240830-20231437-06
    • 설치장소/호실자연4호관 312호
    • 담당학과화학과
    • 연계교과목반도체 및 에너지 무기재료 화학
  • 스핀코터 신규

    스핀코터

    • 기자재관리번호20241018-20231437-08~09
    • 설치장소/호실자연4호관 311호
    • 담당학과화학과
    • 연계교과목반도체 및 에너지 무기재료 화학