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담당학과
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기존
3차원 레이저현미경
기자재관리번호
설치장소/호실
공학4호관 311호
담당학과
기계공학부
연계교과목
반도체 공정교육
장비일지
신규
시뮬레이션PC
기자재관리번호
20231222-20231437-34~75
설치장소/호실
공학4호관 318호
담당학과
기계공학부
연계교과목
유한요소법 개론
장비일지
신규
인터랙티브화이트보드
기자재관리번호
20240814-20231437-03
설치장소/호실
공학4호관 316호
담당학과
기계공학부
연계교과목
장비일지
신규
원자힘현미경
기자재관리번호
20241119-20231437-14
설치장소/호실
공학4호관 220호
담당학과
기계공학부
연계교과목
반도체 개론, 계측공학, 초소형기전공학설계
장비일지
기존
고온 어닐러
(RTA)
기자재관리번호
설치장소/호실
자연4호관 120호
담당학과
물리학과
연계교과목
나노반도체 제조공정
장비일지
기존
이빔증착기
(ebeam evaporator)
기자재관리번호
설치장소/호실
자연4호관 120호
담당학과
물리학과
연계교과목
나노반도체 제조공정
장비일지
기존
ICP-RIE
기자재관리번호
설치장소/호실
자연4호관 120호
담당학과
물리학과
연계교과목
저온 플라즈마 물리, 나노반도체 제조공정
장비일지
신규
마스크포토얼라이너
기자재관리번호
20240131-20231437-76
설치장소/호실
자연4호관 115-1호
담당학과
물리학과
연계교과목
저온 플라즈마 물리
장비일지
신규
Pressure Regulator set
기자재관리번호
20240822-20231437-05
설치장소/호실
자연4호관 115-1호
담당학과
물리학과
연계교과목
나노반도체 제조공정
장비일지
기존
반도체디바이스시스템
기자재관리번호
20241112-20231437-11
설치장소/호실
자연4호관 419-1호
담당학과
물리학과
연계교과목
나노반도체 제조공정
장비일지
기존
X-선 회절 분석기
기자재관리번호
설치장소/호실
자연4호관 236호
담당학과
화학과
연계교과목
반도체 및 에너지 무기재료 화학
장비일지
기존
광발장 분광 분석기
기자재관리번호
설치장소/호실
자연4호관 205호
담당학과
화학과
연계교과목
반도체 및 에너지 무기재료 화학
장비일지
기존
자외선 분광 분석기
기자재관리번호
설치장소/호실
자연4호관 205호
담당학과
화학과
연계교과목
반도체 및 에너지 무기재료 화학
장비일지
신규
파장분산형 엑스선 형광분석기
기자재관리번호
20240830-20231437-06
설치장소/호실
자연4호관 312호
담당학과
화학과
연계교과목
반도체 및 에너지 무기재료 화학
장비일지
신규
스핀코터
기자재관리번호
20241018-20231437-08~09
설치장소/호실
자연4호관 311호
담당학과
화학과
연계교과목
반도체 및 에너지 무기재료 화학
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